製品情報
Products
石英ルツボ製造方法
Quartz Crucible manufacturing method
アーク溶融
arc fusion
石英ルツボは、原料となる石英粉を型に入れ、アーク放電による熱で2,000℃以上にすることで石英粉を溶融しガラス化して製造します。 このとき、アークによる溶融の条件を管理することで、内側にほとんど気泡のない"透明層"を、外側に保温性を高めるための気泡を多く含む"気泡層"を形成します。
高純度石英ルツボの製造フロー
原料充墳
Filling with raw materials
原料となる石英粉を「モールド」と呼ぶ型に充填します。
合成石英ルツボでは外側に天然石英粉を充填し
内側により純度の高い合成石英粉を充填する二層構造とします。
外側の天然石英粉は高温時の粘度が高いため
ルツボの強度向上に寄与します。
アーク溶融
Arc fusion
アーク放電による熱で石英粉を溶融しガラス化します。
内側には、シリコン単結晶育成の際の影響を最小限に抑えるため
気泡のほとんどない"透明層"を形成し、
外側には、保温性を高めるための"気泡層"を形成します。
加工
Processing
アーク溶融後、石英ルツボをモールド
から取り出し高圧水で外面に付着した
石英粉を除去します。
その後、仕様に応じた高さに
ルツボのリム（縁部分）を切断し
さらに洗浄します。
検査
Inspection
石英ルツボの肉厚・重量・外径などの形状測定を行います。
また全数、目視による検査を行います。
酸洗浄
Acid cleaning
内外面を酸を用いて洗浄します。
その後、純水洗浄、乾燥を経て、
クリーンルーム内で
清浄度を保ったまま、開口部を
自動機でラッピングします。