製品情報
Products
製品ラインナップ
Product Lineup
半導体シリコン単結晶引上げ用 高純度石英ルツボ
High Purity Quartz Crucible for Single Crystal Silicon （for Semiconductor）
製品概要
General Information
高純度天然石英ルツボ壁の内表面に超高純度の合成石英がライニングされた2層構造で、半導体シリコン単結晶引上げ用に最適です。
JSQ offers High Purity Quartz Crucibles suitable for Single Crystal Silicon Pulling for Semiconductor applications,
which is formed with double layers. Inner surface layer is made with super high purity synthetic quartz.
グレード Grade |
ルツボサイズ Size |
対応シリコンWfサイズ Silicon Wafer Size |
| CR120 | 28-32inch | 300mm |
| 22-24inch | 200mm |
サイズ別（代表値）
Dimensions by Size (Typical specification)
[単位(Unit) : mm]
口径 Size |
外形 Outer diameter |
厚み Thinckness |
||
直胴部 Wall |
R部 R |
底部 Bottom |
||
| 32inch | 809.0 +/- 4.0 | 16.0 +/- 3.0 | 25.0 +/- 5.0 | 15.0 +/- 3.0 |
| 28inch | 705.0 +/- 4.0 | 13.0 +/- 3.0 | 20.0 +/- 5.0 | 12.0 +/- 3.0 |
| 24inch | 607.0 +/- 3.0 | 12.0 +/- 3.0 | 20.0 +/- 5.0 | 10.0 +/- 3.0 |
| 22inch | 556.0 +/- 3.0 | 12.0 +/- 3.0 | 18.0 +/- 4.0 | 10.0 +/- 3.0 |
分析値（代表値）
Typical Analysis Data
[単位(Unit) : ppm]
グレード Grade |
Al | Fe | Ti | Na | K | Li | B |
| CR120 | <0.1 | <0.1 | <0.1 | <0.05 | <0.05 | <0.05 | <0.05 |
